本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
可評(píng)價(jià)粗糙度、波紋度、輪廓度等數(shù)百項(xiàng)參數(shù)。
軟件可顯示R曲線、W曲線、P曲線。" />

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解決方案

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大行程粗糙度測(cè)量解決方案

儀器概述
 

本儀器具備CNC測(cè)量功能同批次工件可進(jìn)行批量測(cè)量。
本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
可評(píng)價(jià)粗糙度、波紋度、輪廓度等數(shù)百項(xiàng)參數(shù)。
軟件可顯示R曲線、W曲線、P曲線。

 
測(cè)量范圍

X方向測(cè)量：350mm
X方向分辨率：0.1μm
傳感器量程：200μm
傳感器分辨率：0.008μm
Z方向立柱移動(dòng)范圍：100mm
Y方向移動(dòng)范圍：350mm

 
技術(shù)參數(shù)

 

項(xiàng)目 參數(shù)
技術(shù)參數(shù) 線性精度 ≤±(5nm+2.8%)
殘值噪聲 ≤0.005μm
重復(fù)性 ±5%
截止波長(zhǎng) 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
評(píng)定長(zhǎng)度 λcX2、3、4、5、6、7
運(yùn)動(dòng)控制 X軸驅(qū)動(dòng)方式 電動(dòng)
Z軸驅(qū)動(dòng)方式 電動(dòng)
Y軸驅(qū)動(dòng)方式 電動(dòng)
X軸驅(qū)動(dòng)速度 0.05~15mm/s
Z軸驅(qū)動(dòng)速度 0.2-15mm/s
Y軸驅(qū)動(dòng)速度 0.05~15mm/s