導(dǎo)軌直線度：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采數(shù)間隔：0.05μm
傳感器線性精度：0.1μm+0.2% f.s
傳感器量程/分辨率比：1：262144
輔助電子攝像單元：30萬像素
載物臺(tái)X、Y向定位精度：0.02mm
傳感器Z向移動(dòng)定位精度：0.02mm
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采用氣浮隔振機(jī)臺(tái)隔離環(huán)境振動(dòng)對(duì)測量的影響。
測力控制單元采用音圈電機(jī)實(shí)時(shí)控制以保證輕測量力。
測量時(shí)用罩殼隔離空氣流動(dòng)對(duì)測量的影響。
采用電子攝像單元輔助測量調(diào)整及測量過程控制。
配置多維電動(dòng)載物臺(tái)對(duì)零件測量部位進(jìn)行測量。



薄膜臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度。