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SPR3000系列 粗糙度輪廓儀
精度更高,性能更穩(wěn)定
高精度數(shù)字式輪廓傳感器
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落地式結(jié)構(gòu),一體化多層防震結(jié)構(gòu)
3000系列推出的最新系列機臺,外觀更加美觀大氣,抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器,軟件界面實時顯示外界溫度,可監(jiān)控儀器在不同溫度狀態(tài)下的精度表現(xiàn)。
大量程高精度輪廓傳感器
輪廓測量·高精度傳感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研發(fā)寬范圍粗糙度傳感器
粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
項目
規(guī)格
測量范圍
X軸
0-220mm可選
Z軸
0-620mm可選
Z1軸
C:0-±30mm可選/R:±620μm
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≤±(0.6+|0.02H|)μm
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≤±(5nm+2.5%)
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